雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展而來的一種外差式干涉儀，其利用激光干涉現象來測量物體的參數。其工作原理是激光器產生兩束不同頻率的激光束，這兩束激光束經過分束器后被分成兩路，分別照射到物體表面和反射鏡上。當兩束激光束在物體表面反射后，它們會形成干涉條紋。由于兩束激光束的頻率不同，它們在物體表面反射后的相位差也不同，因此干涉條紋的間距會隨著物體表面的形狀、長度等參數的變化而發生變化。通過測量干涉條紋的間距變化，就可以計算出物體的參數，如長度、形狀、表面粗糙度等。
1、精度高：
以波長作為標準對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到微米量級，細分后更可達到納米量級。這種高精度的測量能力使其在精密制造、科學研究等領域具有廣泛的應用價值。
2、抗干擾能力強：
由于采用雙頻外差測量技術，雙頻激光干涉儀的接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數的交流放大器，避免了直流放大帶來的零點漂移等問題。同時，利用多普勒效應計數器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響，因此在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號。這使得它在惡劣的測試環境中也能保持較高的測量精度。
3、環境適應力強：
既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。其對環境的適應能力強，能夠在各種復雜的工作環境中保持穩定的性能。
4、實時動態測速高：
測速普遍達到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態測量。這一特點使得它能夠滿足工業生產中對快速測量的需求，提高了生產效率。
5、應用范圍廣：
除了可用于長度的精密測量外，配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。此外，還可以分光行多路測量，實現多個參數的同時測量，進一步提高了測量的效率和準確性。
6、穩定性好：
雙頻激光干涉儀的穩定性較好，測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。這一特點使得它在長時間的測量過程中能夠保持較高的精度和穩定性。
更新時間：2024-10-25
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三坐標測量儀
