光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

　　光學(xué)輪廓儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進(jìn)行測量的，是接觸測量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測量某些難以測量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷，為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。

　　光學(xué)輪廓儀的主要功能：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。專的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

　　2、干涉

　　①相位差干涉(PSI)

　　相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量。

　　②白光干涉(VSI)

　　白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級的縱向分辨率。

　　3、多焦面疊加

　　多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗，特別設(shè)計了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

　　4、薄膜測量

　　用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。Sneox在增加了分光反射計后可以測量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，最小的測量點(diǎn)為5um。因為系統(tǒng)里有組合的LED光源，所以實(shí)時觀察和膜厚測量能同時進(jìn)行。