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PLR3000納米級高精度激光干涉尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

在大尺寸精密測量領(lǐng)域，GTS點坐標(biāo)激光跟蹤測量儀具有測量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場測量等優(yōu)點，取代了大型固定式三坐標(biāo)測量機、經(jīng)緯儀、全站儀等許多傳統(tǒng)測量設(shè)備，在設(shè)備校準(zhǔn)、部件檢測、工裝制造與調(diào)試、集成裝配和逆向工程等應(yīng)用領(lǐng)域顯示出高測量精度和效率，激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測量的主要手段.

PLR3000系列0.2ppm激光干涉尺測量儀是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

GTS系列六自由度調(diào)姿定位激光跟蹤儀已經(jīng)發(fā)展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用。

PLR3000多自由度光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

中圖儀器激光跟蹤儀產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用。