激光干涉測(cè)量?jī)x可對(duì)機(jī)床進(jìn)行校準(zhǔn)、檢測(cè)機(jī)器人的重復(fù)定位精度......并提供數(shù)據(jù)補(bǔ)償依據(jù)，是高品質(zhì)測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品。

中圖儀器測(cè)量重復(fù)定位精度的配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內(nèi)的線(xiàn)性測(cè)量。

SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x的靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線(xiàn)性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

線(xiàn)性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000

產(chǎn)品名稱(chēng)：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線(xiàn)性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線(xiàn)性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測(cè)量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿?xì)產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，可實(shí)現(xiàn)高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定的激光頻率輸出，具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測(cè)量距離、直線(xiàn)度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來(lái)源；而且測(cè)量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過(guò)程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。